Proposal of New Nano-Fabrication Technique Utilizing Ion Beam
Proposal of New Nano-Fabrication Technique Utilizing Ion Beam
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利用离子束的新型纳米制造技术的提议
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Yoshiie
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.Nitta;M.Taniwaki;Y.Hayashi;Y.Satoh;T.Yoshiie
