粉末靶磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的特性
粉末靶磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的特性
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DOI：
10.13290/j.cnki.bdtjs.2015.12.011
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吴法宇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
刘思宁;周艳文;吴川;吴法宇
