微細形状測定用光ファイバプローブの自由曲面測定用アルゴリズムの開発
微細形状測定用光ファイバプローブの自由曲面測定用アルゴリズムの開発
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用于微观形状测量的光纤探针自由曲面测量算法的开发
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐田雄大，村上洋，甲木昭雄，佐島隆生，内山晃介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
内山晃介，村上洋，甲木昭雄，佐島隆生，山本隆彦，本田裕;浜野康雄;Yutaka TANAKA;佐田雄大，村上洋，甲木昭雄，佐島隆生，内山晃介
