M.Hirose and S.Miyazaki: "Plasma Deposition of Semiconductor Multilayer Structures" Proc.of 9th Intern.Symp.on Plasma Chemistry. (1989)
M.Hirose and S.Miyazaki: "Plasma Deposition of Semiconductor Multilayer Structures" Proc.of 9th Intern.Symp.on Plasma Chemistry. (1989)
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M.Hirose 和 S.Miyazaki：“半导体多层结构的等离子体沉积”Proc.of 9th Intern.Symp.on Plasma Chemistry。
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