Stabilized formation of tetragonal ZrO2 thin film with high permittivity-猫眼课题宝

DOI：

10.1016/j.tsf.2014.01.031

发表时间：

2014-04

期刊：

Thin Solid Films

影响因子：

2.1

通讯作者：

中科院分区：

材料科学3区

文献类型：

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作者：

Kimihiko Kato;Takatoshi Saito;S. Shibayama;M. Sakashita;W. Takeuchi;N. Taoka;O. Nakatsuka;S. Zaima