齋藤秀俊: "Hardness and Structure of a-CNx Films Synthesized by Chemical Vapor Deposition"Journal of Applied Physics. 39・7A. 4148-4152 (2000)
齋藤秀俊: "Hardness and Structure of a-CNx Films Synthesized by Chemical Vapor Deposition"Journal of Applied Physics. 39・7A. 4148-4152 (2000)
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齐藤秀俊：“化学气相沉积合成的 a-CNx 薄膜的硬度和结构”应用物理学杂志 39・7A 4148-4152（2000）。
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