モノリシックPZT多軸マイクロステージ
モノリシックPZT多軸マイクロステージ
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整体式 PZT 多轴微型平台
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
江刺正喜
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小野崇人;モハマド ファイズル;吉田慎哉;江刺正喜
