Dopant Effects on Solid Phase Epitaxy in Silicon and Germanium
Dopant Effects on Solid Phase Epitaxy in Silicon and Germanium
复制标题
掺杂剂对硅和锗固相外延的影响
DOI：
10.1063/1.3682532
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发表时间：
2012
影响因子：
3.2
通讯作者：
J.C.McCallum
中科院分区：
文献类型：
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作者：
B.C.Johnson;T.Ohshima;J.C.McCallum
