Electron acceleration suitable for decomposition of CF_4 molecules and CFx radicals
Electron acceleration suitable for decomposition of CF_4 molecules and CFx radicals
复制标题
适用于CF_4分子和CFx自由基分解的电子加速
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Suda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Arakida;N. Eguti;N. Mori;H. Sugawara;Y. Sakai;Y. Suda
