M.Shimozuma: "APPLICATION OF LOW FREQUENCY DISCHARGE TO PROCESDING PLASMA AND CHARACTERISTICS OF THE PLASMA" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 7. 233-236 (1990)
M.Shimozuma: "APPLICATION OF LOW FREQUENCY DISCHARGE TO PROCESDING PLASMA AND CHARACTERISTICS OF THE PLASMA" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 7. 233-236 (1990)
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M.Shimozuma：“低频放电在处理等离子体中的应用和等离子体的特性”第七届等离子体处理研讨会论文集。
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