化学増幅型EUVレジストにおける脱保護反応
化学増幅型EUVレジストにおける脱保護反応
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化学放大 EUV 抗蚀剂中的脱保护反应
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本洋揮
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Taichi Nishida;Tomo Ogura;Mitsuo Fujimoto;Akio Hirose;山本洋揮
