金属の水素チャージとディスチャージを利用した非真空雰囲気における異種電子部材間の拡散接合
金属の水素チャージとディスチャージを利用した非真空雰囲気における異種電子部材間の拡散接合
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在非真空气氛中利用金属充氢和放电在不同类型的电子元件之间进行扩散接合
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
村田卓也
中科院分区:
文献类型:
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作者:
宮崎賢祐;竹下隆晴;宮崎賢祐,竹下隆晴;朝倉良太,竹下隆晴;朝倉良太,竹下隆晴;宮崎賢祐,朝倉良太,竹下隆晴;村田卓也;村田卓也