マイクロ波励起高密度近接プラズマを用いたDLCコーティング
マイクロ波励起高密度近接プラズマを用いたDLCコーティング
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使用微波激发高密度邻近等离子体进行 DLC 涂层
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上坂裕之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hama;T.;and Takuda;H;上坂裕之
