コプラナー型沿面放電による酸化物薄膜の形成
コプラナー型沿面放電による酸化物薄膜の形成
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共面沿面放电形成氧化物薄膜
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
柴山;他
