非接触表面光電圧プローブを用いた多結晶シリコン薄膜の結晶性評価
非接触表面光電圧プローブを用いた多結晶シリコン薄膜の結晶性評価
复制标题
使用非接触式表面光电压探针评估多晶硅薄膜的结晶度
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
池田正則(清水博文)
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
角田直輝;海津利行;高橋正光;山口浩一;池田正則(清水博文)
