Y.Kanamori et.al: "100nm period silicon antireflection structures fabricated using a porous alumina membrane mask"APPLIED PHYSICS LETTERS. 78. 142-143 (2001)
Y.Kanamori et.al: "100nm period silicon antireflection structures fabricated using a porous alumina membrane mask"APPLIED PHYSICS LETTERS. 78. 142-143 (2001)
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Y.Kanamori 等人：“使用多孔氧化铝膜掩模制造的 100nm 周期硅抗反射结构”应用物理快报。
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