S. Kikkawa, R. Shimanouchi-Futagami, M. Koizumi: "Plasma assisted CVD of TiS_2." Appl., Phys., A49, 105(1989).
S. Kikkawa, R. Shimanouchi-Futagami, M. Koizumi: "Plasma assisted CVD of TiS_2." Appl., Phys., A49, 105(1989).
复制标题
S. Kikkawa、R. Shimanouchi-Futagami、M. Koizumi：“TiS_2 的等离子体辅助 CVD”。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
