イオン照射とスパッタリングを併用したTiNi薄膜の低温結晶化
イオン照射とスパッタリングを併用したTiNi薄膜の低温結晶化
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利用离子辐照和溅射技术低温结晶 TiNi 薄膜
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
作道訓之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
林忠之;立木実;何東風;糸崎秀夫;作道訓之;T. Hayashi;作道訓之;T. Hayashi;N. Ikenaga;T. Hayashi;N.Ikenaga;T. Hayashi;作道訓之
