LNOI photonics fabricated on Si wafer by room temperature bonding
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通过室温键合在硅晶圆上制造 LNOI 光子学
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and R. Takigawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Watanabe;Y. Yamaguchi;A. Kanno;and R. Takigawa
