T.Ikushima, Y.Okuno and H.Fujita: "Production of Large Diameter Microwave Plasma Using an Annular Slot Antenna" Appl.Phys.Lett.vol1.64. 25-27 (1994)
T.Ikushima, Y.Okuno and H.Fujita: "Production of Large Diameter Microwave Plasma Using an Annular Slot Antenna" Appl.Phys.Lett.vol1.64. 25-27 (1994)
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T.Ikushima、Y.Okuno 和 H.Fujita：“使用环形缝隙天线生产大直径微波等离子体”Appl.Phys.Lett.vol1.64。
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