ウエハ表面のナノレベル欠陥検出向け接触型マイクロ熱検知センサの原理検討
ウエハ表面のナノレベル欠陥検出向け接触型マイクロ熱検知センサの原理検討
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晶圆表面纳米级缺陷检测的接触式微热检测传感器原理研究
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高偉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
清水裕樹;盧文剣;東豊大;高偉
