Micro-probing system for slit width measurement by using a shear-force detection
Micro-probing system for slit width measurement by using a shear-force detection
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使用剪切力检测进行狭缝宽度测量的微探测系统
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Wei Gao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
So Ito;Hirotaka Kikuchi;Yuan-Liu Chen;Yuki Shimizu;Wei Gao
