自然酸化膜付Si 基板上へのモノメチルシランを用いたSiC薄膜高速成長
自然酸化膜付Si 基板上へのモノメチルシランを用いたSiC薄膜高速成長
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自然氧化膜硅衬底上单甲基硅烷高速生长SiC薄膜
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
成田 克，山田晋平，高野昌伸，早尾貴史，中島健介，末光眞希
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山田晋平，成田 克，中島健介，内藤正路，末光眞希;成田 克，山田晋平，高野昌伸，早尾貴史，中島健介，末光眞希
