明田川正人 他: "結晶格子を基準とする微小長さ測定(第3報)-熱ドリフト誤差の抑制と測定範囲の数μmレベルへの拡大-" 精密工学会誌. 65・1. 121-125 (1999)
明田川正人 他: "結晶格子を基準とする微小長さ測定(第3報)-熱ドリフト誤差の抑制と測定範囲の数μmレベルへの拡大-" 精密工学会誌. 65・1. 121-125 (1999)
复制标题
Masato Aketakawa等人：“基于晶格的微小长度测量（第3次报告）-热漂移误差的抑制和测量范围扩大到数μm级-”日本精密工程学会杂志65・1-1。 125 (1999)
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
