Si添加DLC薄膜への窒素添加の効果
Si添加DLC薄膜への窒素添加の効果
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氮添加对Si掺杂DLC薄膜的影响
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中澤日出樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村和樹;大橋遼;横山大;田島圭一郎;遠藤則史;末光眞希;遠田義晴;小林康之;鈴木裕史;中澤日出樹
