Selective Area Growth of Semipolar (20-21) and (20-2-1) GaN substrates by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy

Selective Area Growth of Semipolar (20-21) and (20-2-1) GaN substrates by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy
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通过金属有机气相外延选择性区域生长半极性 (20-21) 和 (20-2-1) GaN 衬底

DOI:
10.7567/jjap.52.08jc06
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发表时间:
2013
影响因子:
1.5
通讯作者:
and Satoru Nagao
and Satoru Nagao
中科院分区:
物理与天体物理4区
文献类型:
--
作者:
Daiki Jinno;Bei Ma;Hideto Miyake;Kazumasa Hiramatsu;Yuuki Enatsu; and Satoru Nagao

文献摘要

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