M.Kumagai,M.Suzuki,T.Suzuki,Y.Tanaka,Y.Setsuhara,S.Miyake,K.Ogata,M.Kohata,K.Higeta,T.Einishi,Y.Suzuki,Y.Shimoitani and Y.Motonami: "PROPERTIES OF DEPTH-PROFILE CONTROLLED BORON NITRIDE FILMS PREPARED BY ION-BEAM ASSISTED DEPOSITION" Nuclear Instruments &
M.Kumagai,M.Suzuki,T.Suzuki,Y.Tanaka,Y.Setsuhara,S.Miyake,K.Ogata,M.Kohata,K.Higeta,T.Einishi,Y.Suzuki,Y.Shimoitani and Y.Motonami: "PROPERTIES OF DEPTH-PROFILE CONTROLLED BORON NITRIDE FILMS PREPARED BY ION-BEAM ASSISTED DEPOSITION" Nuclear Instruments &
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M.Kumagai、M.Suzuki、T.Suzuki、Y.Tanaka、Y.Setsuhara、S.Miyake、K.Ogata、M.Kohata、K.Higeta、T.Einishi、Y.Suzuki、Y.Shimoitani 和 Y.
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