Cs補正ADF-STEMで捉えたSi中ドーパントアンチモンの置換位置移動
Cs補正ADF-STEMで捉えたSi中ドーパントアンチモンの置換位置移動
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Cs 校正 ADF-STEM 捕获的 Si 中掺杂剂锑的取代位置移动
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山崎 順
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yasuhiko Ishikawa;Kazumi Wade;石川靖彦;Y. Kimura;山崎 順
