一种大工作空间密度的压电微动二维工作台设计

一种大工作空间密度的压电微动二维工作台设计
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DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
中国机械工程
影响因子:
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通讯作者:
郝丽娜
郝丽娜
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
曹瑞珉;郝丽娜

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