N离子注入对TiN薄膜的组织及性能的影响
N离子注入对TiN薄膜的组织及性能的影响
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DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
赖新春
中科院分区：
文献类型：
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作者：
沈丽如;陈美艳;邓雉;赖新春
