On-Machine Measuring Instrument of Workpiece Compliance Uing Laser Interferometer

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激光干涉仪工件柔度机上测量仪

DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Daisuke Kono
Daisuke Kono
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Umezu Takuma;Kono Daisuke;Matsubara Atsushi;Daisuke Kono

文献摘要

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