Dependences of growth process of amorphous carbon films on the different source gases : methane and acetylene
Dependences of growth process of amorphous carbon films on the different source gases : methane and acetylene
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非晶碳薄膜的生长过程对不同源气体：甲烷和乙炔的依赖性
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masanori Shinohara;他
