二次元核形成理論を用いたSiC昇華法成長における多形安定性の非定常解析

二次元核形成理論を用いたSiC昇華法成長における多形安定性の非定常解析
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利用二维成核理论对 SiC 升华生长的多晶型稳定性进行非稳态分析

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
荒木清道,高冰,中野智,西澤伸一,柿本浩一
荒木清道,高冰,中野智,西澤伸一,柿本浩一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
平山秀樹;藤川紗知恵;鎌田憲彦;荒木清道,高冰,中野智,西澤伸一,柿本浩一

文献摘要

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