水素および重水素のERDAによるアモルファスカーボン薄膜成長過程研究

水素および重水素のERDAによるアモルファスカーボン薄膜成長過程研究
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氢氘ERDA非晶碳薄膜生长工艺研究

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
竹本直嗣,岡田匡人,関場大一郎,石井聡,櫻井岳暁,秋本克洋
竹本直嗣,岡田匡人,関場大一郎,石井聡,櫻井岳暁,秋本克洋
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
D. Shirasawa;S. Kajimoto;H. Fukumura;竹本直嗣,岡田匡人,関場大一郎,石井聡,櫻井岳暁,秋本克洋

文献摘要

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