T.Aoki et al.: "Deposition of crystalline germanium film in remote plasma after glow" Proc.4th Int.Symp.on Sputt.plasma Proc.221-226 (1997)
T.Aoki et al.: "Deposition of crystalline germanium film in remote plasma after glow" Proc.4th Int.Symp.on Sputt.plasma Proc.221-226 (1997)
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T.Aoki 等人：“辉光后远程等离子体中结晶锗薄膜的沉积”Proc.4th Int.Symp.on Sputt.plasma Proc.221-226 (1997)
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