集束陽子線描画を用いた印刷用スタンプの作製とa-IGZO薄膜の転写特性
集束陽子線描画を用いた印刷用スタンプの作製とa-IGZO薄膜の転写特性
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使用聚焦质子束光刻技术制作印模以及 a-IGZO 薄膜的转移特性
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西川宏之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川村恵矢; 林秀臣; 関宏範; 西川宏之
