Heteroepitaxial Growth of (AlGa)2 O3 Thin Films on Sapphire Substrates by Plasma-Assisted Pulsed Laser Deposition
Heteroepitaxial Growth of (AlGa)2 O3 Thin Films on Sapphire Substrates by Plasma-Assisted Pulsed Laser Deposition
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等离子体辅助脉冲激光沉积在蓝宝石衬底上异质外延生长 (AlGa)2 O3 薄膜
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Qixin Guo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Zewei Chen;Makoto Arita;Katsuhiko Saito;Tooru Tanaka;Qixin Guo
