Wavelet変換によるSiウエハ評価に関する研究(第1報)
Wavelet変換によるSiウエハ評価に関する研究(第1報)
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利用小波变换评估硅片的研究（第1次报告）
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
周 立波
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山本武幸;小林剛;清水淳;尾嶌裕隆;小貫哲平;周立波;永澤 茂;J. Shimizu;清水淳;周 立波
