Si(1OO)表面における熱酸化膜成長に及ぼすP及びSbの影響
Si(1OO)表面における熱酸化膜成長に及ぼすP及びSbの影響
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P和Sb对Si(1OO)表面热氧化膜生长的影响
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
牟田壮志郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Kajikawa;K.Tomachi;K.Tanaka;K.Funaki;T.Kamiya;M.Okada;H.Kumakura;牟田壮志郎
