スパッタエピタキシー法による(ZnO)x(InN)1-x単結晶薄膜の室温成膜

スパッタエピタキシー法による(ZnO)x(InN)1-x単結晶薄膜の室温成膜
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溅射外延法室温沉积(ZnO)x(InN)1-x单晶薄膜

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
板垣奈穂
板垣奈穂
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
成重椋太;山下尚人;鎌滝晋礼;奥村賢直;古閑一憲;白谷正治;板垣奈穂

文献摘要

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