Effect of hydrogen on the mechanical properties of silicon crystal surface

Effect of hydrogen on the mechanical properties of silicon crystal surface
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氢对硅晶表面力学性能的影响

DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
Proceedings　of　the　ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems
影响因子：
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通讯作者：
Shoji Kamiya
Shoji Kamiya
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Hayato Izumi;Ryota Mukaiyama;Nobuyuki Shishido;Shoji Kamiya

文献摘要

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