Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Materials based on Water Wheel-like Cyclic Oligomer (Noria)
Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Materials based on Water Wheel-like Cyclic Oligomer (Noria)
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基于水轮状环状低聚物（Noria）的极紫外（EUV）抗蚀材料
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
工藤宏人・西久保忠臣
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岸川圭希,佐藤来,高橋正洋,幸本重男;武士由希・島茂記・工藤宏人・西久保忠臣;山田容子・及川悦誠・清田達郎・大橋知佳・青竹達也・勝田修平・中山健一;幸本重男,井上翔太,高橋正洋,岸川圭希;鈴木穰次・工藤宏人・西久保忠臣;森山和樹・西久保忠臣・工藤宏人・老泉博昭・井谷俊郎・丸山研・木村徹・下川努;岸川圭希,小林孝弘,高橋正洋,幸本重男;Yoshihide Fukaya;山田容子;佐藤友治・荒井義明・工藤宏人・西久保忠臣・井谷俊郎・老泉博昭;岸川圭希,井上尭大,高橋正洋,幸本重男;工藤 宏人・西久保忠臣;山田容子;Shuji Watanabe;工藤宏人・西久保忠臣;山田容子;Fumio Sasaki;岸川圭希,杉山崇明,高橋正洋,幸本重男;幸本重男,名雪涼,高橋正洋,岸川圭希;Takeshi Yamao;山田容子;工藤宏人・西久保忠臣;工藤宏人・西久保忠臣
