画型パターン照明を用いた欠陥検査法の開発-非平面検査対象に対する検討-
画型パターン照明を用いた欠陥検査法の開発-非平面検査対象に対する検討-
复制标题
开发利用图像图案照明的缺陷检查方法 - 非平面检查对象的研究 -
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
杉野直規
中科院分区：
文献类型：
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作者：
杉野直規;山根八洲男;杉野直規
