K.Tsuchiya, E.Nakamachi, et al.: "Development of RF magnetron sputtering method to fabricate PZT thin film actuator"PRECISION ENGINEERING. 27. 258-264 (2003)
K.Tsuchiya, E.Nakamachi, et al.: "Development of RF magnetron sputtering method to fabricate PZT thin film actuator"PRECISION ENGINEERING. 27. 258-264 (2003)
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K.Tsuchiya、E.Nakamachi 等人：“开发射频磁控溅射方法来制造 PZT 薄膜致动器”精密工程。
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