田久保嘉隆,Yohitaka TAKUBO: "レ-ザ励起蛍光法による反応性プラズマの分光計測-シランプラズマ内のSi原子密度・空間分布-" レ-ザ-研究. 17. 578-585 (1989)
田久保嘉隆,Yohitaka TAKUBO: "レ-ザ励起蛍光法による反応性プラズマの分光計測-シランプラズマ内のSi原子密度・空間分布-" レ-ザ-研究. 17. 578-585 (1989)
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Yohitaka TAKUBO：“使用激光诱导荧光进行反应等离子体的光谱测量 - 硅烷等离子体中的硅原子密度和空间分布”激光研究 17. 578-585 (1989)。
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