Microfabrication of silicon vibrating wires
Microfabrication of silicon vibrating wires
复制标题
硅振弦的微细加工
DOI：
10.1016/s0921-4526(99)03063-x
复制
发表时间：
2000
影响因子：
2.8
通讯作者：
H. Godfrin
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Triqueneaux;E. Collin;D. Cousins;T. Fournier;C. Bäuerle;Y. Bunkov;H. Godfrin
