Three-dimensional SOI-HEMS Constructed by Buckled Bridges ad Vertical Comb Drive Actuator
Three-dimensional SOI-HEMS Constructed by Buckled Bridges ad Vertical Comb Drive Actuator
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由屈曲桥和垂直梳状驱动执行器构建的三维 SOI-HEMS
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Sasaki;D.Briand;W.Noell;N.de Rooij;K.Hane
