Ge基板のヨウ素溶液処理による表面エッチング

Ge基板のヨウ素溶液処理による表面エッチング
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碘溶液处理Ge基体表面刻蚀

DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
金島 岳
金島 岳
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
森 悠;濱地 威明;阿保 智;酒井 朗;金島 岳

文献摘要

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