Production and Control of High-pressure Surface-wave Plasmas for Water-Repellant Fluorocarbon Film Deposition

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疏水性氟碳薄膜沉积高压表面波等离子体的产生与控制

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Thin Solid Films (in press)
影响因子：
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通讯作者：
H.Sugai
H.Sugai
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
D.Mezerette;M.Kuroda;H.Sugai

文献摘要

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