超音速フリージェットPVDによるTi膜の機械的およびトライボロジ特性
超音速フリージェットPVDによるTi膜の機械的およびトライボロジ特性
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超音速自由喷射 PVD 钛薄膜的机械和摩擦学性能
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
丹羽直毅
中科院分区：
文献类型：
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作者：
湯本敦史;永山勝久;西谷要介;丹羽直毅
